杏彩体育官网:上海新阳申请EUV金属光刻胶专利专利技术具备高分辨

　　金融界2023年12月1日消息，据国家知识产权局公告，上海新阳半导体材料股份有限公司申请一项名为

　　金融界2023年12月1日消息，据国家知识产权局公告，上海新阳半导体材料股份有限公司申请一项名为“一种EUV金属光刻胶及其制备方法和应用“，公开号CN117148670A，申请日期为2022年5月。

　　专利摘要显示，本发明公开了一种EUV金属光刻胶及其制备方法和应用。本发明所提供的光刻胶组合物包含以下组分：如下式所示的化合物A、如下式所示的蝶烯B、光产酸剂、有机溶剂和有机碱。所述光刻胶可用于EUV光刻技术，具备高分辨率、高灵敏度和高光敏度的特点，有广泛的应用前景。